g/i线光刻胶、KrF/ArF光刻胶在半导体集成电路中的应用

产品名称：g/i线光刻胶、KrF/ArF光刻胶在半导体集成电路中的应用

产品描述：

g/i线光刻胶、KrF/ArF光刻胶在半导体集成电路中的应用       光刻胶是光刻成像的承载介质，其作用是利用光化学反应的原理将光刻系统中经过衍射、滤波后的光信息转化为化学能量，进而完成掩模图形的复制。目前，集成电路生产中使用的光刻胶一般由聚合物骨架、光致酸产生剂或光敏化合物、溶剂，以及显影保护基团、刻蚀保护基团等其他辅助成分组成 。   光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。 中文名：光刻胶 外文名：photoresist 别名：光致抗蚀剂 成分：感光树脂、增感剂和溶剂 分类：负性胶和正性胶 硅片制造中，光刻胶的目的主要有两个：光刻胶原理，小孔成像；源头，古老的相机； （1）将掩模版图形转移到硅片表面顶层的光刻胶中； （2）在后续工艺中，保护下面的材料（例如刻蚀或离子注入阻挡层）。  在半导体集成电路制造行业；主要使用g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶等。在大规模集成电路的制造过程中，一般要对硅片进行过十次光刻。在每次的光刻和刻蚀工艺中，光刻胶都要通过预烘、涂胶、前烘、对准、曝光、后烘、显影和蚀刻等环节，将光罩（掩膜版）上的图形转移到硅片上。   感光阻焊油墨用于 PCB 光刻胶是集成电路制造的重要材料：光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%，并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%-50%。光刻胶材料约占IC制造材料总成本的4%，市场。因此光刻胶是半导体集成电路制造的材料。   正性光刻胶显影示意图 按显示分类；光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶。负性光刻胶显影时形成的图形与光罩（掩膜版）相反；正性光刻胶形成的图形与掩膜版相同。两者的生产工艺流程基本一致，区别在于主要原材料不同。 负性光刻胶显影示意图 按照化学结构分类；光刻胶可以分为光聚合型，光分解型，光交联型和化学放大型。光聚合型光刻胶采用烯类单体，在光作用下生成自由基，进一步引发单体聚合，后生成聚合物；   光聚合反应示意图 光分解型光刻胶，采用含有重氮醌类化合物(DQN)材料作为感光剂，其经光照后,发生光分解反应，可以制成正性光刻胶；光交联型光刻胶采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，可以制成负性光刻胶。 产品供应： 产品名称 cas 1-丙烯酸金刚烷酯 121601-93-2 1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8 丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3 4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2 1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 216581-76-9 2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 249562-06-9 2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 303186-14-3 1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9 2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7 甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7 2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 297156-50-4 2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 251564-67-7 gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 130224-95-2 N-异丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6 (9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1 (5-氧代四氢-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9 1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1 1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4 2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 31480-93-0 n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1 2-乙烯基萘 827-54-3 2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 195000-66-9 丙烯酸甲基环戊酯 178889-49-1 丙烯酸1-乙基环戊酯 326925-69-3 2-氧代四氢-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2 4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7 acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0 1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7 2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8 1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7 1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8 4-异丙基苯酚 4286-23-1 (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5 乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1 2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6 甲基丙烯酸四氢-呋喃-2-基酯 15895-80-4 oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7 3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8 2,3-二羟基丙烯酸丙酯 10095-20-2 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 2653-39-6 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3 2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 123455-94-7 二苯基碘酰氯 1483-72-3 双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐 84563-54-2 全氟丁基磺酸三苯基锍盐 144317-44-2 双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 5421-53-4 TBPDPS-PFBS 258872-05-8 1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐 194999-85-4 (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0 N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 85342-62-7 上述产品齐岳生物均可供应，用于科研！ wyf 01.22   上一篇： 光刻胶的光聚合反应/水解反应示意图 下一篇： 平面/多弧/旋转陶瓷靶材供应商-含靶材

联系我们：

邮箱：2519696869@qq.com

QQ: 2519696869

电话：18066853083

微信：18066853083

公司介绍：

西安齐岳生物科技有限公司是集化学科研和定制与一体的高科技化学公司。业务范围包括化学试剂和产品的研发、生产、销售等。涉及产品为通用试剂的分销、非通用试剂的定制与研发，涵盖生物科技、化学品、中间体和化工材料等领域。
主营产品：COF、MOF单体系列：三蝶烯衍生物、金刚烷衍生物、四苯甲烷衍生物、peg、上转换、石墨烯、光电材料、点击化学、凝集素、载玻片、蛋白质交联剂、脂质体、蛋白、多肽、氨基酸、糖化学等。