光刻胶的光聚合反应/水解反应示意图

产品名称：光刻胶的光聚合反应/水解反应示意图

产品描述：

光刻胶的光聚合反应/水解反应示意图 光聚合反应示意图 光分解型光刻胶，采用含有重氮醌类化合物(DQN)材料作为感光剂，其经光照后,发生光分解反应，可以制成正性光刻胶；光交联型光刻胶采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，可以制成负性光刻胶。   光分解反应示意图 在半导体集成电路光刻开始使用深紫外（DUV）光源以后，化学放大（CAR）逐渐成为行业应用的主流。在化学放大光刻胶中，树脂是具有化学基团保护因而难以溶解的聚乙烯。化学放大光刻胶使用光致酸剂（PAG）作为光引发剂。   光交联反应示意图 当光刻胶曝光后，曝光区域的光致酸剂（PAG）将会产生一种酸。这种酸在后热烘培工序期间作为催化剂，将会移除树脂的保护基团从而使得树脂变得易于溶解。化学放大光刻胶曝光速递是DQN光刻胶的10倍，对深紫外光源具有的光学敏感性，同时具有高对比度，对高分辨率等优点。 化学放大光反应示意图 按照曝光波长分类；光刻胶可分为紫外光刻胶（300~450nm）、深紫外光刻胶（160~280nm）、极紫外光刻胶（EUV，13.5nm）、电子束光刻胶、离子束光刻胶、X射线光刻胶等。不同曝光波长的光刻胶，其适用的光刻分辨率不同。通常来说，在使用工艺方法一致的情况下，波长越短，加工分辨率越佳。 产品供应：   产品 型号 光源 类型 分辨率 厚度（um) 适用范围 厚胶 Thick Resist SU-8 GM10xx系列 g/h/i-Line 负性 0.1um 0.1-200 具有较大的高宽比，透明度高，垂直度。 SU-8 Microchem g/h/i-Line 负性 0.5um 0.5-650 具有较大的高宽比，透明度高，垂直度。 SPR220 g/h/i-Line 正性 1um 1—30 可用于选择性电镀电镀，深硅刻蚀等工艺。 NR26-25000P g/h/i-Line 负性   20-130 厚度大，相对容易去胶。 电子束光刻胶 型号 光源 类型 分辨率 厚度（um) 适用范围 SU-8 GM1010 电子束 负性 100nm 0.1-0.2 可用于做高宽比较大的纳米结构。 HSQ 电子束 负性 6nm 30nm~180nm 分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀。 XR-1541-002/004/006 HSQ Fox-15/16 电子束 负性 100nm 350nm~810nm 分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀。 PMMA(国产) 电子束 正性 \ \ 高分辨率，适用于电子束光刻工艺，较常用的电子束光刻正胶。 PMMA（） 电子束 正性 \ \ MicroChem，分子量，适用于电子束光刻工艺，较常用的电子束光刻正胶。 薄胶 型号 光源 类型 分辨率 厚度（um) 适用范围 S18xx系列 g-Line 正性 0.5um 0.4-3.5 较常用的薄光刻胶，分辨率高，稳定。 SPR955系列 i-Line 正性 0.35um 0.7-1.6 高分辨率（0.35um）光刻胶，稳定。 BCI-3511 i-Line 正性 0.35um 0.5-2 国产0.35um光刻胶，已经在量产单位规模使用。 NRD6015 248nm 负性 0.2um 0.7-1.3 国产深紫外光刻胶，已经在量产单位规模使用。 Lift off光刻胶 型号 光源 类型 分辨率 厚度（μm) 适用范围 KXN5735-LO g/h/i-Line 负性 4μm 2.2-5.2 负性光刻胶;倒角65-80°，使用普通正胶显影液显影。 LOL2000/3000 g/h/i-Line / NA 130nm-300nm 非感光性树脂，可以被显影液溶解，作为lift off双层胶工艺中底层胶使用。 ROL-7133 g/h/i-Line / 4um 2.8-4 负性光刻胶，倒角75~80°，使用普通正胶显影液。 光刻胶配套试剂 品名 主要成分 包装 应用 / / 正胶显影液 TMAH 2.38% 4LR/PC 正胶显影液 / / 正胶稀释剂 PGMEA 4LR/PC 稀释剂 / / SU8 显影液 PGMEA 4L/PC 显影SU8光刻胶 / / RD-HMDS HMDS 500ml/PC 增粘剂 / / OMNICOAT 见MSDS 500ml/PC SU-8增粘剂 / / 上述产品齐岳生物均可供应，用于科研！ wyf 01.22 上一篇： 肥大细胞（甲苯胺蓝Toluidine Blue O） 下一篇： g/i线光刻胶、KrF/ArF光刻胶在半导体集

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西安齐岳生物科技有限公司是集化学科研和定制与一体的高科技化学公司。业务范围包括化学试剂和产品的研发、生产、销售等。涉及产品为通用试剂的分销、非通用试剂的定制与研发，涵盖生物科技、化学品、中间体和化工材料等领域。
主营产品：COF、MOF单体系列：三蝶烯衍生物、金刚烷衍生物、四苯甲烷衍生物、peg、上转换、石墨烯、光电材料、点击化学、凝集素、载玻片、蛋白质交联剂、脂质体、蛋白、多肽、氨基酸、糖化学等。