厚胶/电子束光刻胶/薄胶/Lift off光刻胶 可定制

产品名称：厚胶/电子束光刻胶/薄胶/Lift off光刻胶 可定制

产品描述：

厚胶/电子束光刻胶/薄胶/Lift off光刻胶 可定制 光刻胶分类总结 光刻胶是半导体制程进步的“燃料” 在集成电路制造领域，如果说光刻机是推动制程进步的“引擎”，光刻胶是这部“引擎”的“燃料”。下图展示了光刻胶如何在一个NMOS三极管的制造工艺中发挥作用。NMOS三级管是半导体制程工艺中常用的集成电路结构之一。   一种 NMOS 三极管集成电路结构的制造过程 在这样一个例子中，步骤1中的绿色部分红色部分多晶硅材料被涂上了一层光刻胶。在步骤2的光刻曝光过程中，黑色的掩膜遮挡范围之外的光刻胶被都被光刻光源照射，发生了化学性质的改变，在步骤3中表现为变成了墨绿色。在步骤4里，经过显影之后，红色表征的多晶硅材料上方只有之前被光罩遮挡的地方留下了光刻胶材料。 于是，光罩（掩模版）上的图形被转移到了多晶硅材料上，完成了“光刻”的过程。在此后的步骤5到步骤7里，基于“光刻”过程在多晶硅材料上留下的光刻胶图形，“多晶硅层刻蚀”、“光刻胶清洗”和“N+离子注入”工艺共同完成了一个NMOS 三极管的构造。 上图步骤1中的光刻胶涂胶过程也是一种重要的半导体工艺。其目的是在晶圆表面建立轻薄，均匀且没有缺陷的光刻胶膜。一般来说，光刻胶膜厚度从0.5um到1.5um 不等，厚度的误差需要在正负0.01um以内。半导体光刻胶的涂敷方法主要是旋转涂胶法，具体可以分为静态旋转法和动态喷洒法。 静态旋转法涂胶过程示意图 静态旋转法：先把光刻胶通过滴胶头堆积在硅片的中心，然后低速旋转使得光刻胶铺开，再以旋转甩掉多余的光刻胶。在旋转的过程中，光刻胶中的溶剂会挥发一部分。这个过程可以如图表16中所示。静态涂胶法中的光刻胶堆积量关键，量少了会导致光刻胶不能充分覆盖硅片，量大了会导致光刻胶在硅片边缘堆积甚至流到硅片的背面，影响工艺质量。   合格与不合格的静态涂胶过程示意图 动态喷洒法：随着硅片尺寸越来越大，静态涂胶已经不能满足新的硅片加工需求。相对静态旋转法而言，动态喷洒法在光刻胶对硅片进行浇注的时刻开始以低速旋转帮助光刻胶进行初的扩散。这种方法可以用较少量的光刻胶形成更均匀的光刻胶铺展，终以旋转形成满足厚薄与均匀度要求的光刻胶膜。   动态喷洒法涂胶过程示意图 随着IC集成度的，集成电路的制程工艺水平按已由微米级、亚微米级、深亚微米级进入到纳米级阶段。集成电路线宽不断缩小的趋势，对包括光刻在内的半导体制程工艺提出了新的挑战。在半导体制程的光刻工艺中，集成电路线宽的特征尺寸可以由如右所示的瑞利公式确定：CD= k1*λ/NA 产品供应；   产品名称 cas 1-丙烯酸金刚烷酯 121601-93-2 1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8 丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3 4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2 1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 216581-76-9 2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 249562-06-9 2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 303186-14-3 1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9 2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7 甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7 2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 297156-50-4 2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 251564-67-7 gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 130224-95-2 N-异丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6 (9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1 (5-氧代四氢-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9 1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1 1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4 2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 31480-93-0 n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1 2-乙烯基萘 827-54-3 2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 195000-66-9 丙烯酸甲基环戊酯 178889-49-1 丙烯酸1-乙基环戊酯 326925-69-3 2-氧代四氢-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2 4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7 acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0 1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7 2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8 1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7 1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8 4-异丙基苯酚 4286-23-1 (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5 乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1 2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6 甲基丙烯酸四氢-呋喃-2-基酯 15895-80-4 oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7 3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8 2,3-二羟基丙烯酸丙酯 10095-20-2 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 2653-39-6 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3 2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 123455-94-7 二苯基碘酰氯 1483-72-3 双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐 84563-54-2 全氟丁基磺酸三苯基锍盐 144317-44-2 双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 5421-53-4 TBPDPS-PFBS 258872-05-8 1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐 194999-85-4 (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0 N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 85342-62-7 六氟二酐（6FDA) 1107-00-2 9,9-双(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA) 127926-65-2 9,9-双(4-氨基苯基)芴 （FDA) 15499-84-0 4,4’-二氨基-2,2’-二甲基联苯 (M-Tolidine) 84-67-3 2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基) 六氟丙烷 83558-87-6 1,3-双(3-氨基苯氧基)苯 (APB) 10526-07-5 4,4'-双(4-氨苯氧基)联苯(BAPB) 13080-85-8 1,3-双(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1 4,4-二氨基联苯-2,2-二羧酸 17557-76-5 2,2'-双(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9 ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4 BAPP 2,2'-双[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9 TPE-Q 1,4-双(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1 BPADA 双酚A型二醚二酐 38103-06-9 BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5 BPDA 3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐 2420-87-3 CBDA 环丁烷四甲酸二酐 4415-87-6 DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5 TFMB 2,2'-双(三氟甲基)二氨基联苯 341-58-2 A-BPDA 2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐 36978-41-3 BOAFL 9,9-二[(2,3-环氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2 TCA 四氢-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9 ODPA 4,4'-氧双邻苯二甲酸酐 1823-59-2 A-ODPA 3,4'-氧双邻苯二甲酸酐 50662-95-8 HFBAPP 2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8 4-溴-N-苯基咔唑 1097884-37-1 3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑 173063-52-0 N-(2-萘基)-3-溴咔唑 934545-80-9 1-溴-N-苯基咔唑 1333002-37-1 3,6-二叔丁基咔唑 37500-95-1 3,6-二溴咔唑 6825-20-3 1-溴咔唑 16807-11-7 2-溴咔唑 3652-90-2 2-氯咔唑 10537-08-3 2-羟基咔唑 86-79-3 3-溴咔唑 1592-95-6 3,6-二苯基-9H-咔唑 56525-79-2 4-溴-9H-咔唑 3652-89-9 3-苯基-9H-咔唑 103012-26-6 11,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑 1329054-41-2 9-(4-溴苯基)咔唑 57102-42-8 10-溴-7H-苯并[c]咔唑 1698-16-4 9-(3-溴苯基)-9H-咔唑 185112-61-2 9-(2-溴苯基)-9H-咔唑 902518-11-0 3-溴-N-苯基咔唑 1153-85-1 3,6-二溴-9-苯基咔唑 57103-20-5 3-碘-9-苯基咔唑 502161-03-7 9-(1-萘基)-3-溴咔唑 934545-83-2 3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑 1028647-93-9 2-溴-9-苯基-9H-咔唑 94994-62-4 2-(2-氯-苯基)-1H-苯并咪唑 3574-96-7 3,3'-联咔唑 1984-49-2 3,9'-联咔唑 18628-07-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 241-55-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 6336-32-9 5,11-二氢-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑 1260228-95-2 5,7-二氢-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑 1257220-47-5 9-(4'-溴联苯-4-基)-9H-咔唑 212385-73-4 4,4'-二(9-咔唑)联苯 58328-31-7 5,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑 1346645-54-2 5,7-二氢-吲哚并[2,3-b]咔唑 111296-90-3 吲哚并[2,3-a]咔唑 60511-85-5 9H-咔唑-3-硼酸频哪醇酯 855738-89-5 9-(4-苯基苯基)咔唑 6299-16-7 14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑 1313395-18-4 9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑 1221237-83-7 2,7-二溴咔唑 36630-39-2 2-苯基-9H-咔唑 88590-00-5 咔唑 86-74-8 9H-咔唑-3,6-二甲腈 57103-03-4 3,6-二碘咔唑 57103-02-3 3-氰基咔唑 57102-93-9 9,9'-二([1,1'-联苯]-4-基)-3,3'-联-9H-咔唑 57102-51-9 3-氯咔唑 2732-25-4 N-(3-联苯基)-N-(4-联苯基)-3,3-双咔唑 1643479-47-3 5,7-二氢-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑 1448296-00-1 9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑 1060735-14-9 3,6-二乙氧基咔唑 1707264-12-7 9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑 10607435-14-9 9-乙烯卡唑 1484-13-5 4-硼酸三苯胺 201802-67-7 二苯并噻吩-4-硼酸 108847-20-7 (3,5-二苯基苯)硼酸 128388-54-5 3-溴苯硼酸 89598-96-9 苯硼酸 98-80-6 2-硝基苯基硼酸 5570-19-4 2-氟苯硼酸 1993/3/9 4-甲苯硼酸 5720/5/8 2,4-二氟苯硼酸 144025-03-6 4-氟苯硼酸 1765-93-1 2-氯-苯基硼酸 3900-89-8 3-氯苯硼酸 63503-60-6 2-联苯硼酸 4688-76-0 3-联苯硼酸 5122-95-2 4-联苯硼酸 5122-94-1 1-萘硼酸 13922-41-3 2-萘硼酸 32316-92-0 9-蒽硼酸 100622-34-2 荧蒽-3-硼酸 359012-63-8 9-菲硼酸 68572-87-2 4-(1-萘基)苯硼酸 870774-25-7 4-(2-萘基)苯硼酸 918655-03-5 苯并菲-2-硼酸 654664-63-8 1-芘硼酸 164461-18-1 (10-苯基蒽-9-基)硼酸 334658-75-2 [10-(1-萘基)-9-蒽]硼酸 400607-46-7 B-(10-[1,1'-联苯]-4-基-9-蒽基)硼酸 400607-47-8 9,9-二甲基芴-2-硼酸 333432-28-3 9,10-双(2-萘基)蒽-2-硼酸 867044-28-8 10-(2-萘基)蒽-9-硼酸 597554-03-5 9,9-二甲基-2,7-芴二硼酸 866100-14-3 B-9,9'-螺二芴-2'-基硼酸 236389-21-2 B-[3-(4-二苯并噻吩基)苯基]硼酸 1307859-67-1 B,B'-2,8-二苯并呋喃二基二硼酸 1222008-13-0 吡啶-3-硼酸 1692-25-7 喹啉-3-硼酸 191162-39-7 喹啉-8-硼酸 86-58-8 9H-咔唑-1-基硼酸 869642-36-4 二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2 9-苯基咔唑-2-硼酸 1001911-63-2 (9-苯基-9H-咔唑-3-基)硼酸 854952-58-2 4-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 419536-33-7 3-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 864377-33-3 B-[2-(9H-咔唑-9-基)苯基]硼酸 1189047-28-6 二苯并呋喃-4-硼酸 100124-06-9 B-2-二苯并噻吩基硼酸 668983-97-9 联硼酸新戊二醇酯 201733-56-4 联硼酸频那醇酯 73183-34-3 二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2 4-溴苯硼酸 5467-74-3 4-氯苯硼酸 1679-18-1 硼酸三异丙酯 5419-55-6 3-(2-三亚苯基苯硼酸)频哪醇酯 1115639-92-3 3-甲氧基-2-萘硼酸 104115-76-6 Benzofuran-2-boronic acid CAS 98437-24-2 2,4-Dichlorophenylboronic acid CAS 68716-47-2 [3-(3-Pyridinyl)phenyl]boronic acid CAS 351422-72-5 9-(3-bromophenyl)-9-phenyl-9H-fluorene 1257251-75-4 B-[4-(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯基]-硼酸 952514-79-3 [4-(2-苯基-1H-苯并咪唑-1-基)苯基]硼酸 867044-33-5 四氟硼酸银 14104-20-2 三亚苯-2-基)硼酸频哪醇酯 890042-13-4 9,9-螺二芴-2-硼酸频哪醇酯 884336-44-1 3-氟-2-甲酰基苯硼酸 871126-15-7 5-氯-2-甲酰基苯硼酸 870238-36-1 B-(10-[1,1'-联苯]-2-基-9-蒽基)硼酸 400607-48-9 4-（3-吡啶基)苯硼酸 170230-28-1 2-氯-4-(联苯-3-基)-6-苯基-1,3,5-三嗪 1689576-03-1 4-硼酸三苯胺 201802-67-7 9-菲硼酸新戊二醇酯 1416371-19-1 3,5-二甲基苯硼酸 172975-69-8 二苯并[b,d]呋喃-3-硼酸 395087-89-5 *，、货期短，提供核磁，HPLC，LCMS,GC图谱 ，，， 本公司产品用于科研，不用于人体。 以上资料西安齐岳生物科技有限公司提供 wyf 01.26 上一篇： 磁珠法分离细胞原理/MACS微珠/MACS分选 下一篇： 齐岳生物提供半导体光刻胶产品（含产品

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西安齐岳生物科技有限公司是集化学科研和定制与一体的高科技化学公司。业务范围包括化学试剂和产品的研发、生产、销售等。涉及产品为通用试剂的分销、非通用试剂的定制与研发，涵盖生物科技、化学品、中间体和化工材料等领域。
主营产品：COF、MOF单体系列：三蝶烯衍生物、金刚烷衍生物、四苯甲烷衍生物、peg、上转换、石墨烯、光电材料、点击化学、凝集素、载玻片、蛋白质交联剂、脂质体、蛋白、多肽、氨基酸、糖化学等。