适用范围较广的正性/负性电子束光刻胶

产品名称：适用范围较广的正性/负性电子束光刻胶

产品描述：

适用范围较广的正性/负性电子束光刻胶 电子束光刻胶 型号 光源 类型 分辨率 厚度（um) 适用范围 SU-8 GM1010 电子束 负性 100nm 0.1-0.2 可用于做高宽比较大的纳米结构。 HSQ 电子束 负性 6nm 30nm~180nm 分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀。 XR-1541-002/004/006 HSQ Fox-15/16 电子束 负性 100nm 350nm~810nm 分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀。 PMMA(国产) 电子束 正性 \ \ 高分辨率，适用于电子束光刻工艺，较常用的电子束光刻正胶。 PMMA（） 电子束 正性 \ \ MicroChem，分子量，适用于电子束光刻工艺，较常用的电子束光刻正胶。 ? 光刻胶是光刻成像的承载介质，其作用是利用光化学反应的原理将光刻系统中经过衍射、滤波后的光信息转化为化学能量，进而完成掩模图形的复制。目前，集成电路生产中使用的光刻胶一般由聚合物骨架、光致酸产生剂或光敏化合物、溶剂，以及显影保护基团、刻蚀保护基团等其他辅助成分组成 。 光刻胶是微电子中微细图形加工的关键材料之一，是近年来大规模和大规模集成电路的发展，更是大大了光刻胶的研究研究和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人较贵先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。 光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。 中文名：光刻胶 外文名：photoresist 别名：光致抗蚀剂 成分：感光树脂、增感剂和溶剂 分类：负性胶和正性胶 硅片制造中，光刻胶的目的主要有两个：光刻胶原理，小孔成像；源头，古老的相机； （1）将掩模版图形转移到硅片表面顶层的光刻胶中； （2）在后续工艺中，保护下面的材料（例如刻蚀或离子注入阻挡层）。 分类： 光刻胶的复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。 ? 利用这种性能，将光刻胶作涂层，能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。基于感光树脂的化学结构，光刻胶可以分为三种类型。 光聚合型 采用烯类单体，在光作用下生成自由基，自由基再进一步引发单体聚合，后生成聚合物，具有形成正像的特点。 光分解型 采用含有叠氮醌类化合物的材料，经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性，可以制成正性胶。 光交联型 采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下,其分子中的双键被打开，并使链与链之间发生交联，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，这是一种的负性光刻胶。柯达公司的产品KPR胶即属此类。 ? 含硅光刻胶 为了避免光刻胶线条的倒塌，线宽越小的光刻工艺，要求光刻胶的厚度越薄。 在20nm节点，光刻胶的厚度已经减少到了100nm左右。但是薄光刻胶不能的阻挡等离子体对衬底的刻蚀 。为此，了含Si的光刻胶，这种含Si光刻胶被旋涂在一层较厚的聚合物材料（常被称作Underlayer），其对光是不敏感的。曝光显影后，利用氧等离子体刻蚀，把光刻胶上的图形转移到Underlayer上，在氧等离子体刻蚀条件下，含Si的光刻胶刻蚀速率远小于Underlayer，具有较高的刻蚀选择性 。 含有Si的光刻胶是使用分子结构中有Si的有机材料合成的，例如硅氧烷，硅烷，含Si的丙烯酸树脂等 。 产品供应： ? 产品名称 cas 1-丙烯酸金刚烷酯 121601-93-2 1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8 丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3 4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2 1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 216581-76-9 2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 249562-06-9 2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 303186-14-3 1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9 2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7 甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7 2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 297156-50-4 2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 251564-67-7 gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 130224-95-2 N-异丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6 (9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1 (5-氧代四氢-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9 1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1 1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4 2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 31480-93-0 n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1 2-乙烯基萘 827-54-3 2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 195000-66-9 丙烯酸甲基环戊酯 178889-49-1 丙烯酸1-乙基环戊酯 326925-69-3 2-氧代四氢-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2 4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7 acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0 1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7 2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8 1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7 1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8 4-异丙基苯酚 4286-23-1 (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5 乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1 2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6 甲基丙烯酸四氢-呋喃-2-基酯 15895-80-4 oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7 3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8 2,3-二羟基丙烯酸丙酯 10095-20-2 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 2653-39-6 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3 2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 123455-94-7 二苯基酰氯 1483-72-3 双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］鎓与三氟甲磺酸的盐 84563-54-2 全氟丁基磺酸三苯基锍盐 144317-44-2 双(4-叔丁基苯基)氯化鎓 5421-53-4 TBPDPS-PFBS 258872-05-8 1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸盐 194999-85-4 (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0 N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 85342-62-7 六氟二酐（6FDA) 1107-00-2 9,9-双(3-氟-4-氨基苯基)芴?(FFDA) 127926-65-2 9,9-双(4-氨基苯基)芴 （FDA) 15499-84-0 4,4’-二氨基-2,2’-二甲基联苯?(M-Tolidine) 84-67-3 2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)?六氟丙烷 83558-87-6 1,3-双(3-氨基苯氧基)苯?(APB) 10526-07-5 4,4'-双(4-氨苯氧基)联苯(BAPB) 13080-85-8 1,3-双(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1 4,4-二氨基联苯-2,2-二羧酸 17557-76-5 2,2'-双(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9 ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4 BAPP 2,2'-双[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9 TPE-Q 1,4-双(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1 BPADA 双酚A型二醚二酐 38103-06-9 BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5 BPDA 3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐 2420-87-3 CBDA 环丁烷四甲酸二酐 4415-87-6 DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5 TFMB 2,2'-双(三氟甲基)二氨基联苯 341-58-2 A-BPDA 2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐 36978-41-3 BOAFL 9,9-二[(2,3-环氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2 TCA 四氢-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9 ODPA 4,4'-氧双邻苯二甲酸酐 1823-59-2 A-ODPA 3,4'-氧双邻苯二甲酸酐 50662-95-8 HFBAPP 2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8 4-溴-N-苯基咔唑 1097884-37-1 3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑 173063-52-0 N-(2-萘基)-3-溴咔唑 934545-80-9 1-溴-N-苯基咔唑 1333002-37-1 3,6-二叔丁基咔唑 37500-95-1 3,6-二溴咔唑 6825-20-3 1-溴咔唑 16807-11-7 2-溴咔唑 3652-90-2 2-氯咔唑 10537-08-3 2-羟基咔唑 86-79-3 3-溴咔唑 1592-95-6 3,6-二苯基-9H-咔唑 56525-79-2 4-溴-9H-咔唑 3652-89-9 3-苯基-9H-咔唑 103012-26-6 11,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑 1329054-41-2 9-(4-溴苯基)咔唑 57102-42-8 10-溴-7H-苯并[c]咔唑 1698-16-4 9-(3-溴苯基)-9H-咔唑 185112-61-2 9-(2-溴苯基)-9H-咔唑 902518-11-0 3-溴-N-苯基咔唑 1153-85-1 3,6-二溴-9-苯基咔唑 57103-20-5 3--9-苯基咔唑 502161-03-7 9-(1-萘基)-3-溴咔唑 934545-83-2 3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑 1028647-93-9 2-溴-9-苯基-9H-咔唑 94994-62-4 2-(2-氯-苯-基)-1H-苯并咪唑 3574-96-7 3,3'-联咔唑 1984-49-2 3,9'-联咔唑 18628-07-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 241-55-4 吲哚并[3,2-b]咔唑 6336-32-9 5,11-二氢-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑 1260228-95-2 5,7-二氢-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑 1257220-47-5 9-(4'-溴联苯-4-基)-9H-咔唑 212385-73-4 4,4'-二(9-咔唑)联苯 58328-31-7 5,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑 1346645-54-2 5,7-二氢-吲哚并[2,3-b]咔唑 111296-90-3 吲哚并[2,3-a]咔唑 60511-85-5 9H-咔唑-3-硼酸频哪醇酯 855738-89-5 9-(4-苯基苯基)咔唑 6299-16-7 14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑 1313395-18-4 9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑 1221237-83-7 2,7-二溴咔唑 36630-39-2 2-苯基-9H-咔唑 88590-00-5 咔唑 86-74-8 9H-咔唑-3,6-二甲腈 57103-03-4 3,6-二咔唑 57103-02-3 3-氰基咔唑 57102-93-9 9,9'-二([1,1'-联苯]-4-基)-3,3'-联-9H-咔唑 57102-51-9 3-氯咔唑 2732-25-4 N-(3-联苯基)-N-(4-联苯基)-3,3-双咔唑 1643479-47-3 5,7-二氢-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑 1448296-00-1 9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑 1060735-14-9 3,6-二乙氧基咔唑 1707264-12-7 9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑 10607435-14-9 9-乙烯卡唑 1484-13-5 上述产品齐岳生物均可供应！ wyf 01.25 相关目录： 半导体光刻胶/LCD 光刻胶/PCB 光刻胶- 红细胞包裹多孔聚乳酸-羟基乙酸PLGA共

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西安齐岳生物科技有限公司是集化学科研和定制与一体的高科技化学公司。业务范围包括化学试剂和产品的研发、生产、销售等。涉及产品为通用试剂的分销、非通用试剂的定制与研发，涵盖生物科技、化学品、中间体和化工材料等领域。
主营产品：COF、MOF单体系列：三蝶烯衍生物、金刚烷衍生物、四苯甲烷衍生物、peg、上转换、石墨烯、光电材料、点击化学、凝集素、载玻片、蛋白质交联剂、脂质体、蛋白、多肽、氨基酸、糖化学等。